Một hệ thống chân không phân phối cấp 3 có thể là một hệ thống ướt thiết kế để loại bỏ chất lỏng, khí, hoặc chất rắn từ khu vực điều trị; hoặc một hệ thống khô được thiết kế để bẫy chất lỏng và chất rắn trước khi dịch vụ đầu vào và để chứa khí chỉ thông qua các đầu vào dịch vụ.