พื้นที่ภายในที่เกี่ยวข้องกับการวิจัยและพัฒนาพื้นที่ซึ่งมีกระบวนการใช้วัสดุการผลิตที่อันตรายและอำนวยความสะดวกในการผลิตสารกึ่งตัวนำ