Μια περιοχή μέσα σε μια μονάδα κατασκευής ημιαγωγών και της συνάφειάς έρευνας και ανάπτυξης στην οποία υπάρχουν διαδικασίες που χρησιμοποιούν επίσης την παραγωγή αβλαβέστερων υλικά.